高集積化された半導体の製造・検査装置は、いまや0.1ミクロン以下の精度が求められています。このような精度を実現するためには、装置が設置される建物の内部環境温度、クリーン度、振動等、厳格な管理・制御が必要ですが、このようなプロセスでは先端技術の開発・導入スピードは凄まじく、工場施設の環境が追い付かずに装置の性能が十分に発揮できないというケースが増えています。また、以下のように、装置にとって悪影響を与えかねない要因が同じ建屋・同じフロア内に混在している場合が多く見られます。
機器に影響を与えるノイズ環境 機器に影響を与えるノイズ環境 機器に影響を与えるノイズ環境
機器に影響を与えるノイズ環境 機器に影響を与えるノイズ環境
地盤の常時微動、交通振動、建屋内空調機器の振動、騒音、
工作・加工機械の振動・騒音
直流磁場
地 磁 気 周囲装置のステージの移動(ステッパー、検査装置等)
磁性体(エレベーター、車両、台車等)の移動
直流電源 装置内部に直流電源、マグネット(電磁石、永久磁石)を持つもの
鉄道架線 JR,私鉄の送電線(直流)
交流磁場
装置電源 周囲装置の電源線、動力線、空調動力線
送 電 線 電力会社超高圧送電線、工場内高圧送電線
ラインノイズ
インバーター電線、高周波溶融炉、高周波発生装置、放電加工機