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装置稼動中の環境データ(磁場・振動・音響)を自動的にモニタリングし、連続データとして保存できるシステム、それがEMCOS(エムコス)です。このシステムは、従来の監視システムに見られる「監視情報のリアルタイム表示」「許容値を超えると外部警報出力」という機能に、「装置の設定環境/挙動状況の掌握・検証」できる機能を備えた多目的測定/解析ツールとして利用できるように工夫されています。

このシステムは、即異常や故障を発見するものではありませんが、人の健康診断同様、一定期間環境のモニタリングを行うことで異常や故障の予兆を見つけ、大きなトラブルを未然に防ごうとするものです。当社ではこのシステムを「環境マネジメントシステム」として、既に装置メーカー様や半導体メーカー様などにご採用いただいております。